Realitatea brutală a acumulării de căldură în faza de napolitană
În timpul expunerii cu viteză mare-, laserele generează căldură intensă localizată pe mandrina pentru napolitană. Dacă utilizați oțel inoxidabil sau aluminiu, această căldură provoacă dilatare termică microscopică. La nodul de 2 nm, chiar și o deplasare de 1 nm are ca rezultat erori imediate de suprapunere și distrugere a plachetelor de siliciu.
Desfacerea fizicii rigidității carburii de siliciu
Carbura de siliciu are un modul elastic extraordinar de 330 GPa, ceea ce o face de trei ori mai rigidă decât fonta. Această rigiditate extremă ne permite să prelucram ghidaje pentru rulmenți de aer ușoare, scobite-. Aceste ghidaje se pot deplasa la viteze mari fără a se îndoi sau îndoi în timpul accelerației.
Cerința de vid ne-magnetic în instrumentele cu semiconductor
Componente metalicemagnetizează de-a lungul timpului, atrăgând particule microscopice în aer care distrug producția de napolitane. Ceramica noastră avansată SiC este 100% ne-magnetică și inertă din punct de vedere chimic. Nu vor degaza în medii cu vid ultra-înalt, menținând o cameră de procesare curată, fără particule-pentru instrumentele dvs. de litografie.
Comparația materialelor structurale semiconductoare
| Proprietatea materialului | Carbură de siliciu (SiC) | Alumină (Al₂O₃ 99,5%) | Oțel inoxidabil (316L) |
| Modulul elastic (E) | 330 GPa | 370 GPa | 193 GPa |
| Expansiune termică (CTE) | 3.5 × 10⁻⁶/K | 8.0 × 10⁻⁶/K | 16.0 × 10⁻⁶/K |
| Conductivitate termică | 150 W/(m·K) | 30 W/(m·K) | 16 W/(m·K) |
| Duritate (Mohs) | 9.5 | 9.0 | 6.0 |
| Permeabilitatea magnetică | 1.000 (Ne-magnetice) | 1.000 (Ne-magnetice) | 1.002 (Puțin magnetic) |
Întrebări frecvente tehnice pentru inginerii de echipamente semiconductoare
Î1: Ce puritate a materiei prime utilizați pentru ceramica dumneavoastră SiC?
A1: We use high-purity reaction-bonded or sintered Silicon Carbide (>99%). Acest lucru asigură că materialul își menține proprietățile fizice uniforme și nu va introduce urme de contaminanți metalici în camera dumneavoastră curată.
Î2: Cum executați găuri de precizie în SiC cu duritate de 9,5 Mohs?
A2: Folosim mașini de șlefuit CNC cu mai multe-axe care rulează scule cu vârf de diamant-. Deoarece SiC este incredibil de greu, rulăm procesul de prelucrare sub lichid de răcire constant pentru a preveni fisura termică și pentru a păstra micro-toleranțe.
Î3: De ce ar trebui să aleg SiC în locul Aluminei (Al2O3)?
A3: În timp ce Alumina este rigidă, SiC are o conductivitate termică de cinci ori mai mare (150 W/m•K). Acest lucru permite SiC să disipeze căldura mult mai rapid, prevenind punctele fierbinți localizate care provoacă expansiune termică neuniformă.
Î4: Ce rugozitate a suprafeței (Ra) pot atinge mandrina dvs. ceramice?
A4: Folosind compuși diamantați specializați, putem lustrui suprafețele active până la o rugozitate a suprafeței (Ra) sub 0,02 μm, oferind o interfață ultra-plată pentru strângerea plachetelor.
Î5: Puteți fabrica nervuri interne ușoare personalizate?
A5: Da. Suntem specializați în prelucrarea structurilor interne complexe, scobite-. Acest lucru reduce masa componentei cu până la 60%, păstrând în același timp rigiditatea structurală ridicată, permițând o accelerare mult mai rapidă a sistemului.
Î6: Cum reacționează aceste ceramice la șocuri termice rapide?
A6: Datorită conductivității sale termice ridicate și expansiunii termice scăzute, SiC rezistă incredibil de bine la șocul termic. Nu se va micro-fractura și nu se va deforma în timpul ciclurilor de procesare rapide, la-temperatură ridicată.