Multe abateri de măsurare în stațiile de inspecție de precizie nu provin din acuratețea insuficientă a lentilelor de inspecție sau a senzorilor, ci din micro-vibrații continue de joasă frecvență transmise de la uzina fabricii. Funcționarea compresorului de aer, pornirea-oprirea mașinilor din jur și mișcarea pietonilor generează astfel de vibrații de joasă frecvență. Amplitudinea este mică, dar continuă, perturbând referința de măsurare în mod repetat și provocând date inconsistente pentru mai multe teste pe aceeași piesă de prelucrat. Pentru inspecția optică a semiconductorilor și măsurarea dimensională de precizie, repetabilitatea datelor servește ca indicator de bază pentru evaluarea fiabilității echipamentelor. Platformele metalice obișnuite prezintă o rigiditate ridicată, dar o amortizare slabă. Odată ce vibrația de joasă frecvență intră pe masă, aceasta oscilează mult timp fără atenuare rapidă și amplifică direct fluctuațiile de măsurare. UNPARALLELED Group produce blaturi de masă de precizie din granit negru UNPARALLELED®. Utilizează proprietatea naturală de amortizare a materialului pentru a bloca transmisia vibrațiilor de joasă frecvență și pentru a menține rezultate consistente pentru măsurători repetate.
Vibrațiile de joasă frecvență din ateliere sunt transmise în mare parte în sus prin fundația pământului și aparțin celui mai greu tip de interferență a mediului de izolat. Blaturile din metal și aliaj de aluminiu abia absorb vibrațiile; energia de vibrație reverberează continuu pe suprafața mesei. Structura cristalină densă din interiorul granitului de înaltă densitate consumă energia cinetică a vibrațiilor, disipând rapid energia vibrațiilor de joasă frecvență și suprimând propagarea continuă a vibrațiilor. Substratul adoptă granit negru cu o densitate de aproximativ 3100 kg/m³ și un coeficient de dilatare termică scăzut, astfel încât deformarea indusă de fluctuația temperaturii este minimă. Piatra brută este supusă îmbătrânirii în vrac la stadiul de materie primă pentru a elibera stresul nativ acumulat în timpul extracției și transportului. Chiar și în cazul perturbărilor continue de joasă frecvență pe termen lung, forma de referință a blatului mesei nu se va deforma lent în timp, garantând stabilitatea pe termen lung a performanței de amortizare a vibrațiilor și precizie geometrică.
În etapa de proiectare structurală, inginerii efectuează analize modale combinate cu condițiile de la fața locului pentru a evita banda de excitație de joasă frecvență a atelierelor și pentru a preveni riscurile de rezonanță. Rezonanța poate multiplica vibrațiile slabe ale solului de joasă frecvență și poate distruge complet repetabilitatea măsurătorilor. Pe baza datelor de testare a vibrațiilor la fața locului ale clienților, optimizăm grosimea mesei și dispunerea punctelor de sprijin pentru a distribui forța adusă de vibrațiile externe. Este disponibilă prelucrarea personalizată a găurilor cu topologie ușoară. În timp ce păstrează rigiditatea generală neschimbată, ajustează frecvența naturală a mesei pentru a sta departe de intervalul de vibrații de joasă frecvență a atelierelor. Sistemul de suport de masă poate fi, de asemenea, echipat cu componente de reducere a vibrațiilor potrivite pentru a forma o structură dublă de izolare a vibrațiilor și pentru a slăbi și mai mult transmisia ascendentă a vibrațiilor de joasă frecvență la sol, potrivite pentru fabricile cu interferențe puternice de vibrație subiacente.
Întregul proces de finisare este finalizat într-un atelier cu temperatură constantă, umiditate constantă și antivibrații. Podeaua atelierului este mai groasă de 1000 mm, echipată cu șanțuri independente rezistente la șocuri și macarale rulante silențioase pentru a preveni ca vibrațiile externe să introducă erori de topografie a suprafeței în timpul șlefuirii. Tehnologia de îmbătrânire în etape este adoptată în procesare. După fiecare rundă de șlefuire, piesa de prelucrat este menținută statică pentru a elibera stresul de prelucrare și pentru a evita acumularea de stres în interiorul pietrei. După fabricare, se efectuează teste speciale de răspuns modal și la vibrații pentru a simula excitarea vibrațiilor de joasă frecvență de lungă durată în ateliere, pentru a colecta date de atenuare a vibrațiilor și pentru a evalua efectul de suprimare al tablei asupra vibrațiilor de joasă frecvență. Folosim interferometre laser, cadrane Mahr 0,5μm și nivele electronice Swiss WYLER pentru inspecție. Întregul lanț de metrologie este trasabil până la institutul național de metrologie cu certificate complete de calibrare.
Pentru condițiile de lucru în camera curată, blatul mesei poate fi prelucrat cu etanșare, pasivizare și lustruire în oglindă pentru a sigila microporii de piatră și pentru a reduce precipitarea particulelor. Îndeplinește cerințele camerei curate în timp ce izolează vibrațiile. Această soluție nu se bazează pur și simplu pe greutatea proprie pentru suprimarea vibrațiilor. În schimb, este o soluție integrată de reducere a vibrațiilor care combină materialul, structura, controlul tensiunii și verificarea vibrațiilor înainte de livrare.
Pentru echipamentele de inspecție de precizie, repetabilitatea măsurătorilor determină în mod direct randamentul produsului și fiabilitatea judecății inspecției. Vibrația externă de joasă frecvență este ascunsă și continuă. Impactul său poate fi detectat cu greu într-o singură măsurătoare, iar dispersia datelor poate fi expusă numai după mai multe teste de eșantionare. Cu o capacitate excelentă de disipare a energiei, blaturile de granit fără egal blochează eficient micro-vibrațiile de joasă frecvență în ateliere și stabilizează reperele de măsurare. Menține fluctuația datelor din măsurători repetate într-un interval extrem de mic și oferă baze de măsurare stabile și fiabile pentru toate tipurile de echipamente de inspecție de înaltă precizie.